二手 ULVAC Custom #9076778 待售
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ID: 9076778
晶圆大小: 28
优质的: 1996
Vacuum coating chamber
High vacuum chamber, 96"
28" diameter
Long throw height
Load Locks for Parts and Crystals
EGL-80M 4-Pocket (110cc EA) E-Beam Gun
Process chamber: CTI-400 Cryo pump
Loadlock chamber: CTI Cryotorr 8F Cryo pump
Camera adaptable view: Robotic hand-offs
Pallet is the substrate stage: Rotatable
Glancing angle deposition (GLAD): 0 to 89 degrees
Main frame: 67" to 72" depth.
ULVAC定制蒸发器广泛用于各种工业和研究应用，从医疗生产到薄膜沉积生产。它是市场上最准确、效率最高、用途最广泛的蒸发器之一。定制蒸发器使用电子束和热蒸发技术在基板上沉积薄膜和涂层。蒸发器为广泛的应用提供了高水平的性能和稳定性。这是通过以优越的材料精心设计和工程实现的，包括以耐腐蚀不锈钢为主体，蒸发器冷却用力通风，以及易于操作和控制的全集成触摸面板。蒸发器能够在广泛的应用范围内提供精确的气相沉积和均匀的涂层厚度。这是通过一个高度精确的质量流控制器和一个专用的SEC处理室的选项来实现的。易于使用的自动化控制功能允许用户设置所需的沉积速率和温度，以及实时监控和控制沉积过程。蒸发器的高温能力允许金属、氧化物、有机材料和其他薄膜材料的精确沉积。蒸发器由于具有快速响应的质量流控制器和精确调节的加热电阻，因此温度控制极佳。这种温度控制允许为高端沉积材料设置广泛的工艺参数，如SiC或类似金刚石的碳。蒸发器还包括具有风扇的高效对流室、粗细排气过滤系统和六晶体石英淋浴头。此外,蒸发器的设计还采用了先进的通风技术和宽敞的观察窗口,以确保始终控制整个过程。总体而言，ULVAC定制蒸发器是一种先进、精确的蒸发器系统，非常适合各种科学和工业应用。它以精巧的设计、优越的材质和全面的触摸面板控制提供无与伦比的性能和稳定性。其高精度和易于使用的特性使定制蒸发器成为薄膜沉积和涂层应用的理想选择。
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