二手 ULVAC EBX-1000 #9313807 待售

ULVAC EBX-1000是为高精度薄膜沉积而设计的高质量蒸发器。它采用涡轮分子泵，保持10-6至10-7的压力固定，以保证沉积的均匀性。物理的蒸气传输是通过一个熔炉源、一个电子束源或一个多源组合来实现的。专用真空室设计在与传输系统兼容的紧凑集成平台中。ULVAC EBX1000蒸发器由蒸发室、涡轮分子泵和沉积监测仪器组成。蒸发室由不锈钢制成，并配有网关法兰，方便材料从坩埚、电子束源或多源转移。室内硬化，具有不同层次的微化学保护。此外，EBX 1000的涡轮分子泵为蒸发过程中的压力提供了高精度的控制。内置的真正的旋转节气门调节精确的泵降时间。此外，利用低真空增压泵和机械泵有效地排出大负荷残余气体。沉积监测仪器可在精确条件下精确控制气相沉积速率。可实时监测沉积膜厚度。它旨在监测各种金属、绝缘体和有机化合物。该仪器还具有控制目标厚度、沉积速度和沉积过/下的不同参数集。此外，还可以监测不同的热参数，确保高效和快速地输送材料沉积。总之，EBX1000蒸发器是一种高精度、高质量的装置，其设计使得高精度薄膜沉积成为可能。它具有紧凑的集成平台，用不锈钢腔室硬化，可用于监测各种材料，以实现高效的气相沉积。ULVAC EBX 1000以其内置的真正的旋转节气门、低真空增压泵和沉积监测仪器，提供高效、精确的气相沉积。