二手 ULVAC EBX-10C #293649865 待售
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ID: 293649865
优质的: 1982
Vapor deposition system
Chamber: 650×800 mm
(3) Resistance heating (Front door type)
Vacuum gauge
Film thickness gauge with revolving jig
Required cooling water: 2kg/cm²G (10ℓ/min)
Required air pressure: 5kg/cm²G
Substrate holder size: 430 mm
Effective deposition range: 350 mm
1982 vintage.
ULVAC EBX-10C是一种高性能蒸发器,旨在为薄膜沉积和表面处理等应用提供经济高效的蒸发工艺。蒸发器非常适合先进的研究、开发和生产过程。该蒸发器采用ULVAC X系列镀铂金电极和获得专利的EBX (EVAPoration Bias eXchange)工艺。这项专利技术允许蒸发器以最小的输入能量进行高速蒸发,并在沉积膜中实现高均匀性。沉积速率的高均匀性允许更高的产品产量、更快的工艺时间和更高的性能。EBX-10C由真空密封不锈钢主体和可靠的坚固真空设备组成。真空系统设有涡轮分子泵、真空计、真空调节器和油雾滤清器。该装置允许稳定的汽化过程,减少污染物的积聚。蒸发器配有高精度的质量流控制器和加热器,可以在薄膜沉积过程中进行精确的温度控制。质量流控制器可确保对热量输入和薄膜厚度的精确监控,从而实现产品的一致性。蒸发器还配备了热电偶反馈机,用于监测沉积速率,以保持精确的基板温度控制。ULVAC EBX-10C还配备了自动化可编程逻辑控制器(PLC),可自动控制蒸发器。PLC工具提供对加热速率、真空参数和薄膜厚度的精确控制。这种精确的控制提供了均匀的沉积,避免了沉积过多或沉积不足,从而产生了更高的性能和质量控制。EBX-10C的蒸发资产是非接触式的,可提供更好的沉积性能和更好的安全性.蒸发器的设计目的是将维护保持在最低限度,因为它没有金属与金属的接触点,不需要额外的清洁,从而便于维护和使用寿命长的性能。综上所述,ULVAC EBX-10C是为高效薄膜沉积和表面处理而设计的先进的高性能蒸发器。蒸发器具有坚固的真空模型、高精度质量流控制器和动态热电偶反馈设备,可实现精确的温度控制和均匀的沉积。凭借其PLC系统,EBX-10C还能够实现自动化控制,并提供卓越的可重复性,从而提高产品产量并更好地控制过程。
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