二手 ULVAC EBX-10D #162906 待售
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ID: 162906
晶圆大小: 4"
优质的: 1981
Resistance evaporator, 4"
2 planetaries, one 4" and one 3"
Electrodes are configured to handle up to 4 sources
Have used this to evaporate gold, silver, palladium etc.
Equipment is currently installed
Diffusion pump included
Spares are also included
1981 vintage.
ULVAC EBX-10D是一种用于低真空应用的蒸发器。它是一种用于蒸发层沉积控制、蒸发速度、粒径和几何排列的多功能工具。该蒸发器最大蒸发速率为10克/分钟,工作面积为80mm长x 90mm宽。配有电阻热加热器、变温控制器和沉积控制器。它有一种专利感应电场等离子体源,用于最小化颗粒增大和均匀蒸发速率分布。这种EBX-10D是控制蒸发速率的理想工具,特别是在需要各种蒸发速率的情况下。感应电场等离子体源产生的电子束使用最高80 x 90毫米的扫描范围,以及0到5.5 kW范围内可靠的交流电源。它还具有计时器函数和可变角度几何布置,以更好的沉积控制。ULVAC EBX-10D还有一个先进的控制系统,可在过程开始时立即测量蒸发速率和粒径。此功能有助于准确控制沉积,并有助于避免沉积过程中出现冷点。它还具有双预热模式,确保整个样品的温度分布均匀,有助于减少蒸发时间和成本。除蒸发速率和粒径控制外,该蒸发器还具有快速的自动变速开关特性。此功能有助于减少污染并实现快速真空循环。这有助于中和样品表面存在的带电颗粒。EBX-10D还有一个真空再生滤波器,它能够快速疏散和稳定真空,并在更薄的薄膜应用中取得更好的效果。最后,ULVAC EBX-10D具有智能模式操作,可帮助最大程度地减少停机时间、确保不间断运行并降低能耗。该蒸发器的用户友好图形界面提供了一个易于理解的界面来控制各种操作细节。该装置还兼容各类配件如基板支架、蒸发源支架和气体溷合系统。这样可以确保用户的安全并提高工作效率。因此,EBX-10D是一种可靠、高效的低真空蒸发器。
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