二手 ULVAC EBX-16C #9111735 待售

ULVAC EBX-16C是一种用于薄膜沉积和半导体制造的高精度蒸发系统。该蒸发器在蒸发源、工艺控制参数、腔室尺寸等方面提供最大的灵活性，以满足各种沉积应用的多样化需求。蒸发器的加热区装有16 kW高频快Etch™电弧枪，以提高加热效率和均匀沉积速率。EBX-16C具有浅锥形的钟形加热区，有助于减少堵塞并确保薄膜均匀均匀。浅钟形也使热量损失最小化，即使在更微妙的沉积过程中也有助于保持蒸发温度。一个单独的喷射器也可用于沉积在小基板上。ULVAC EBX-16C通过低热发射、二极管式温度控制器进行温度控制，提供精确、可调、可靠的温度控制。该系统还配备了主动排放控制，提供了额外的安全性和稳定性。EBX-16C的自动化程度很高，可以方便和一致地使用。它带有直观的触摸屏控制显示屏，允许操作员访问和更改所有相关的流程参数和设置。支持ULVAC EBX-16C的软件还支持数据记录和分析以及后处理功能。EBX-16C是为了满足最苛刻的要求，在薄膜沉积精度和可重复性。蒸发器的可靠性能、优良的温度均匀性、低热发射，是半导体行业广泛应用的理想选择。使用先进的过程控制技术，包括软件编程，为用户提供了取得更精确成果的机会。