二手 ULVAC EGO-40M #9078387 待售

ULVAC EGO-40M是一种用于薄膜沉积的快速热蒸发器.它专为需要高沉积速率的应用而设计，如光伏电池、生物组群研究和MEMS设备。EGO-40M具有高度精确的温度和蒸气压力控制，以确保准确和可重现的结果。ULVAC EGO-40M利用高性能磁控管提供的高速沉积速率大于常规蒸发器的10倍。它使用一个六口袋多目标支架，一次最多容纳六个不同的目标，允许快速和容易地改变目标，并允许多层沉积。EGO-40M拥有喷射冷却专利技术,可防止目标过热并提供更高的沉积速率。ULVAC EGO-40M还有一个内置电源和VLC控制器，使得蒸发器非常直观和用户友好。它对每个口袋都有独立的温度控制，可以控制蒸发温度并允许精确的温度控制。EGO-40M有一个集成的PC,它允许用户创建自己的配方、收集数据以及提供与其他系统的数据通信。此外,ULVAC EGO-40M具有真空监视器,带有泄漏检测信号,指示系统在运行过程中是否失去真空或泄漏。它还具有在温度超过设定值时关闭加热器的过温保护，以及有助于在操作过程中保持最佳腔室压力的闭环真空泵。EGO-40M占地面积小,易于安装和维护。ULVAC EGO-40M能够蒸发多种材料，包括有机、金属、电介质、III-V化合物和合金，使其成为薄膜沉积的通用工具。具备高精度的安全防护功能，完全符合UL和CE安全标准。EGO-40M具有高精度的温度和蒸气压力控制、快速的沉积速率、多目标沉积能力，是薄膜沉积应用的理想蒸发器。