二手 ULVAC EX-200 #9078379 待售
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ULVAC EX-200蒸发设备是一种用途广泛、成本效益高的工具,旨在蒸发各种材料,例如用于半导体加工的薄膜和基板。这台蒸发器配有一个工艺室,提供一个加热的墙壁,可以调整以适应汽化材料的加热要求。它的腔室还提供低真空环境,以确保良好的蒸发性能和最小的颗粒污染。EX-200系统配有自动冷却剂转移装置(ACT),以提供高效维持最佳温度的高容量冷却剂流动。该机还具有可调节的泵送速度,以确保准确可靠的运行。ULVAC EX-200包括支持直接或间接蒸发的集成蒸发器。直接蒸发需要在加热的基板上施加高额定的热辐射材料。另一方面,间接蒸发是指利用间接引入基板的汽化材料进行更均匀的沉积。根据应用情况,直接或间接蒸发法均可用于取得有效效果。EX-200工具是为快速汽化而设计的,具有可调的功率设置,便于精确的过程控制。该资产支持使用磁性搅拌棒,这有助于均匀饱和腔室热壁上的材料。该模型还具有可编程真空控制(PVC)功能,可自动控制腔室内的真空水平。此外,自动装卸站(ALUS)便于将物料装卸到蒸发器上/卸下。ULVAC EX-200蒸发设备可靠,操作方便.其优异的性能使其成为各种应用的理想选择,如沉积、金属化、材料分析、基板溅射涂层、胶带铸造、厚膜沉积、薄膜沉积、蚀刻、涂层等。其先进的技术和可靠的特性使其成为业界的理想选择。
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