二手 ULVAC EX-550 #293750213 待售

ULVAC EX-550是一种精密的蒸发器设备，设计用于半导体制造、光学、研究实验室等多个行业的薄膜沉积过程。这种高性能的系统提供先进的特点和精确的控制参数，使有效和均匀的薄膜涂层在基板上。关键部件：EX-550蒸发器由几个关键部件组成，它们协同工作，为薄膜沉积创造一个受控真空环境。该单元包括真空室、基板支架、电子束蒸发源、电源、气体处理机、控制软件。真空室：ULVAC EX-550的真空室是为薄膜沉积过程创造高真空环境而设计的。该腔室由优质材料制成，以确保沉积膜的排气和污染最小。它配备了涡轮分子泵、粗加工泵等高性能泵送系统，以达到并保持所需的真空水平。基板支架：EX-550的基板支架具有加热和旋转能力，以确保薄膜均匀沉积在基板上。支架可以容纳各种尺寸和类型的基板，在沉积过程中允许灵活性。精确的温度控制和旋转速度使复杂的多层薄膜沉积具有很高的均匀性。电子束蒸发源：ULVAC EX-550中的电子束蒸发源是负责薄膜沉积材料汽化的关键成分。源产生聚焦电子束撞击目标材料，使其蒸发并沉积到基板上。该工具可精确控制沉积膜的蒸发速率、沉积角度和均匀性。电源：EX-550配有高性能电源，可将所需的电压和电流输送到蒸发源、基板支架和资产的其他组件。这些电源确保模型的稳定和可靠运行，从而能够精确控制沉积参数。气体处理设备：ULVAC EX-550中的气体处理系统能够在沉积过程中将氧气或氮气等反应性气体引入真空室。这种能力允许沉积氧化物、氮化物和其他具有特定性质的复合薄膜。气体流量控制器和质量流量计确保准确控制气体流量和组成。控制软件：EX-550的控制软件提供了一个用户友好的界面来设置和监测薄膜沉积过程。该软件允许对沉积配方进行编程，对真空水平、温度和沉积速率等关键参数进行实时监控，并为过程优化和分析进行数据记录。总体而言，ULVAC EX-550蒸发器是一个用途广泛且可靠的薄膜沉积应用单元，需要高精度和控制。其先进的特点和坚固的设计，使其适合需求高品质薄膜涂料的广泛行业和研究领域。