二手 ULVAC EX-550 #9230476 待售

ULVAC EX-550是一种广泛用于半导体研发的干蒸发设备。它是一种通用的实验室工具，利用蒸发器技术在表面或基板上制造薄膜沉积物。其简单的自动化设计，便于操作和精确的沉积控制。EX-550蒸发系统包含两个独立控制的蒸发源。一个常见的来源是安装在电子束枪上的电阻加热灯丝，用于蒸发金属和金属合金。第二个来源是高频感应加热器，用于蒸发有机材料。两种来源都能蒸发0.1至1000纳米的材料。该单元配备了一个装有精密真空控制机的加工室，允许精确操纵腔室压力。它连接到外部真空泵，如旋转叶片或扩散泵。内置的温度和压力监控器允许操作员在不打开腔室的情况下调整腔室内部的条件。高分辨率运动控制器设计为在X和Y方向实现0.003毫米的数字精度，在Z方向实现0.01毫米的数字精度。它能够极其精确和一致地沉积材料。控制器可以被编程为调整金属和合金的不同配方的旋转速度，以及有机材料的速度。ULVAC EX-550是制造高精度、高可靠性薄膜沉积物的理想工具。其自动化设计结合对材料配方、温度、腔室压力和运动的精确控制，使其成为小型研究和生产设施的理想蒸发器。凭借其令人印象深刻的性能，EX-550是各种行业的去到蒸发器。