二手 ULVAC LIS #9078392 待售

ULVAC LIS是由ULVAC, Inc.制造的蒸发器，一家专门从事真空技术的公司。它是一种低真空蒸发器，主要用于半导体和光电工业。蒸发器的设计提供了快速均匀的薄膜材料蒸发，具有令人印象深刻的精度和可重复性。LIS由陶瓷和不锈钢材料组合而成，使其结构轻巧而耐用。它由一个雾化器单元、一个真空室和一个基板卡盘组成。雾化器单元包含一个射频感应天线、氦气和/或氮气，以及一个可以控制蒸发速度和持续时间的快门系统。真空室由不锈钢製成，内含陶瓷室衬里。基板卡盘固定基板，可以调节以保证薄膜层的均匀蒸发。ULVAC LIS的真空水平为10-5torr，温度范围为0-500 °C。它是一种速效蒸发器，可以在几秒钟内蒸发多达1nm的材料，因此非常适合半导体行业的高容量需求。此外，它对射频源的精确定位确保了整个基板的均匀蒸发。LIS易于操作,需要最少的维护。它配备了包含详细操作和安全说明的车载计算机。此外,它还具有超压保护和警报等安全功能。蒸发器还有一个模块化的设计，可以方便地拆卸，以便快速维修或更换零件。ULVAC LIS提供一致的底物覆盖，非常适合各种薄膜工艺，包括氧化膜沉积、电阻性膜沉积、沉积膜变薄和先进的晶圆集成。其蒸发均匀性使其成为集成电路生产等精密薄膜应用的理想选择。此外，它的速度和温度调节使得它成为需要快速和均匀蒸发的过程的理想蒸发器。