二手 VEECO 775 #165752 待售
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ID: 165752
Filament evaporator
24" x 30" High S/S Chamber
Automatic / manual valving
Digital ion / dual TC gauge
Diffusion pump
2 Stage direct drive roughing pump.
VEECO 775是一种蒸发器,主要用于真空厚膜加工机.该系统旨在促进沉积物的高效蒸发,并在生长过程中清除各种基质中的有害污染物。这种高性能蒸发器允许精确的温度控制,改进的过程控制和灵活性,更可靠的原料沉积。775由不锈钢制成,耐用耐腐蚀,真空密封,最大操作压力为800 Torr。它包括两个石英双温区,每个区两个耐热加热器,以及一个初级冷指纹,以提供整个基板表面的温度均匀性。蒸发器具有双深室,具有独立的源负载和功率控制,以确保源材料沉积的均匀性。多级源锁允许源负载而不会受到机械干扰,而可更换的底板则确保蒸发室的热均匀性。VEECO 775利用动态微平衡反馈控制系统监测沉积在基板上的重量,保持精确沉积速率。可作额外的蒸发调整,以增加或降低受影响地区的陶瓷沉积速率。它还拥有先进的过滤系统,保持晶体清洁沉积环境,消除残留或污染物,确保产品质量。这种蒸发器具有许多优点,包括更快的沉积速率、改进的工艺控制和灵活性以及优越的原料精确度。其坚固的设计确保了在任何工艺条件下的可靠运行,并使维护更长的设备寿命和最长的正常运行时间变得容易。775是需要高沉积速率和精确控制沉积过程的基材和材料的理想解决方桉。对于可靠性和性能至关重要的高腐蚀性环境,它也是一个不错的选择。
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