二手 VEECO 775 #545 待售
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VEECO 775蒸发器是一种高精度的汽相外延反应器,设计为提供最高质量的半导体生长过程和材料。这种蒸发器是一种能够在精确控制温度的情况下汽化的外壳.775使用3区炉进行温度控制,可针对多个区和作业的温度剖面定制。VEECO 775是化学气相沉积(CVD)、原子层沉积(ALD)或其他气相沉积过程等沉积步骤的理想选择。它旨在在大批量生产环境中提供可重复、统一和一致的结果。775蒸发器采用先进的专有快门技术,为各种应用提供高吞吐量和均匀性。快门控制对每个蒸发卡带都有单独的控制,快门包括温度补偿温度稳定性和可重复性。快门系统还提供了高水平的过程控制,允许对快门开合时间和动态热模式切换进行精确控制。VEECO 775还具有高性能真空室,提供了高度的温度稳定性和可重复性。它配备了一个自清洁耐腐蚀耐火窗,最大限度地减少停机时间,提高产量。这种蒸发器能够实现超高真空过程步骤,从而能够沉积复杂的原子层,这对于许多最先进的设备过程是必不可少的。775设计为高度自动化,具有内置的大容量晶圆载波,可用于大规模制造生产过程运行,并具有基于配方的全面控制,减少了人工操作并提供低成本操作。VEECO 775还提供实时监控,允许准确的过程校准和故障排除。它旨在与其他VEECO系统无缝配合使用,如白金900舒缓站。775是一款用途非常广泛的蒸发器,为各类大批量制造应用程序提供了高度的精确度和可重复性,使其成为满足客户需求的理想选择。
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