二手 VEECO Bell Jar #293648485 待售

VEECO Bell Jar蒸发器是半导体器件制造中常用的一种精密高效蒸发系统。是一种可用于化学气相沉积（CVD）工艺、薄膜沉积等相关应用的颗粒过滤装置。蒸发器是由各种部件组成的封闭式系统，包括贝尔罐、工艺控制器、气体入口和真空出口、晶圆托架以及阀门和压力表。VEECO Bell Jar是VEECO Evaporator的关键部件，因为它的设计目的是提供一个密封环境，压力低于大气压。它是以尽量减少化学和粒子污染的方式建造的。贝尔罐有一个特殊的设计，以适应蒸发器的端口，以创建一个密封。过程控制器在整个蒸发过程中管理气体的温度、压力和释放。它与VEECO Bell Jar接口，提供了对化学气相沉积循环参数的精确控制。气体入口和真空出口提供了将化学前体和惰性气体流入Bell Jar和疏散化学物质的手段。晶圆载体是一个封闭的平台，用于放置薄膜沉积过程的基板。它还与工艺控制器一起精确测量和控制基板温度，从而实现精确沉积。阀门和压力表用于监测和调节VEECO贝尔罐中反应气体的压力、温度和流量。阀门有助于调节和维持压力水平，而压力表提供精确的测量。利用这些组件，Bell Jar蒸发器能够准确高效地蒸发材料，制造出精确的薄膜以及其他涂层。VEECO Bell Jar蒸发器提供了一个高效的薄膜沉积平台，用于半导体器件制造及相关工艺。通过精确高效的设计，蒸发器提供了一个可以控制和调节的密封环境，以确保优质薄膜。