二手 ADTEC Anex-A2161 #9286116 待售

ADTEC Anex-A2161是一种先进的高端光学曝光设备,旨在支持高精度光刻应用。利用先进光学、精密力学和前沿电子设备的独特组合,Anex-A2161为用户提供了在掩码对准和直接写入操作方面的高度可靠、准确和可重复的成像性能。该系统拥有先进的光学器件，包括一个高精度的2.5倍放大装置和一个健壮的激光束扫描（LBS）镜面机。这种光学组合允许在10度视场内进行高分辨率成像。此外，设置还包括可调谐激光二极管（TLD）工具，该工具提供420纳米至570纳米的精密波长选择，间隔10纳米。TLD还可用于控制曝光水平，从而实现比传统白光源更高的精度。该资产还具有精密的精确运动平台，可精确移动和定位光学组件。这个运动平台是建立在一个高质量的光学级极低的加速度和速度漂移。该级可以针对X-Y和Z运动进行编程，精确定位，可重复性为0.02微米。此外，还有一种独特的倾斜调节机制，利用气动级机构精确补偿样品地形误差。该模型使用户能够使用其软件界面对多个曝光过程进行编程。进程最多可以由16个单独的曝光命令组成，这些命令可以使用简单的基于形状的指令执行。这使用户能够快速配置、存储和召回不同的曝光策略,并轻松地将各种模式集成到单个作业中。ADTEC Anex-A2161结合了一整套功能和高水平的操作精密程度,为任何光刻应用提供了最佳效果。其先进的光学和运动系统相结合，使其成为各领域精密成像的理想工具，从纳米技术和半导体制造到光学和光子学研究。凭借其精致可靠的设计,Anex-A2161是获得可靠、可靠和可重复图像的理想选择。