二手 ARGUS INTERNATIONAL 7725 #9020940 待售
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ARGUS INTERNATIONAL 7725是一种精密的曝光设备,用于多种应用,如光刻、光掩模和直写电子束光刻、晶圆测试等应用。它通过提供高精度晶圆配准、通用曝光控制和精确光束定位的组合,旨在为广泛的应用提供最佳性能。ARGUS 7725包括一个宽域、飞越扫描电子束以提高精度和通量,使其成为光刻的理想选择。该系统配备了四个大容量负载锁,使用户能够一次传输多个晶片,从而提高生产率。它还具有用于晶圆表面成像和优化的高分辨率电荷耦合器件(CCD)相机。这样可以进行高度精确的灵敏对准和轮廓测量。该单元还提供了一个高度精确的电光机器,用于同时获取光学和电子图像,以帮助确保最精确的图样。此外,它还具有广泛的光刻和直接写入操作测量算法,可实现精确的迭加和剂量控制。ARGUS ARGUS INTERNATIONAL 7725提供独特的温度和湿度控制,以提高工艺稳定性。当使用需要大气层、相对湿度(ARH)许可的基板和抗蚀剂时,它还可以获得可靠的结果。这是通过一个综合环境控制工具来实现的,该工具可以限制温度和湿度水平。ARGUS 7725配备了多个晶圆端口,方便基板装卸。它还具有广泛的网络功能和直观、用户友好的软件,允许用户从远程位置监视资产。这样可以更好地与计算机通信,并无缝集成到公司的共享数据库中。总之,ARGUS ARGUS INTERNATIONAL 7725是一种先进的接触模型,能够准确快速地提供关键模式和剂量控制。ARGUS 7725具有多种独特的功能,例如高精度测量算法和环境控制,可提供可靠、长期的性能和无与伦比的处理结果。
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