二手 AXCELIS / FUSION 150 #9384765 待售

AXCELIS/FUSION 150是FUSION Technologies Inc.开发的一款精密曝光设备，用于各种半导体制造工艺。该系统非常适合晶圆加工、光刻、化学外延和MEMS制造等应用。该设备提供高级功能,以满足当今半导体制造行业的严格需求,提供卓越的性能和可靠性。FUSION 150是基于离轴、阵列场照明（PFIL）平台。这个独特的平台能够高精度地暴露非对称特性。该机成像和照明分辨率分别为1.4和14 nm。它利用自动对齐工具和一系列图像处理算法来确保精确和可重复的现场模式。资产还允许细粒接触控制和调整。该模型与先进的计量学和先进的运动控制特性充分结合，保证了高吞吐量和精确的效果。它的高分辨率工具包允许精确的迭加和可重复性，而它的计量能力确保甚至晶圆曝光。它支持一系列可编程的字段大小配置,如全字段、象限和段,以实现精确的重复定位和曝光。AXCELIS 150具有很高的能源效率，包括一个高性能的能源管理设备与集成电源和冷却单元。所有必要的电源和冷却组件都集成到系统中,以实现最佳的能效和可靠性。该装置符合全球安全和监管要求，是为可靠性和长期运行而设计的。它还构建了一个直观的用户界面，允许简单和直观的操作。此外,它还具有强大的机器配置,可以快速轻松地集成和执行刀具。150具有自动对准、集成现场模式、完整自动化、高能效等多种特点。它是高精度曝光工艺和经济高效晶圆生产的理想选择。其先进的特点和可靠的操作使其非常适合半导体的生产要求。