二手 AXCELIS / FUSION 150PC #84749 待售

AXCELIS/FUSION 150PC是一种最先进的高性能晶片和掩模曝光设备,旨在满足先进光刻加工的严格要求。FUSION 150PC采用二合一架构设计，完全集成光学柱，具有两个独立的晶圆和掩模级。这种独特的二合一体系结构使晶片和掩模能够同时曝光,使其成为满足先进光刻加工中增加吞吐量的严格要求的理想选择。该系统采用强大的可编程激光驱动器和集成的掩模和晶片标线级，以确保标线和晶片的精确对准。该设备还配备了先进的光学封装以及从光学显微镜到紫外线和SEM检测系统的全套成像选项。AXCELIS 150 PC包含了一系列全面的处理工具和功能，包括光路校正、图像增强以及完全可编程的自动对准和测量工具。内置校准和验证套件可确保一致且可重复的结果。机器附有革命性的新控制程序，以提高准确性和吞吐量，允许用户轻松快速地控制剂量、定时、聚焦和其他关键参数。FUSION 150 PC能够达到传统I-line工具1.5倍的最大分辨率，因此可以实现超细电路特性，同时降低成本。该资产还配备了先进的诊断工具，能够进行无损激光功率测试，为暴露的每个标线和晶圆提供准确、可重现的测量。对于需要一致性的区域,该模型采用先进的重迭模式算法设计,该算法允许以最小的用户努力和干预来匹配晶圆到标线的曝光。AXCELIS 150PC是一款具有可靠设计的顶级设备,非常适合在高级光刻工艺中达到最高的吞吐量和准确性。它兼具创新特性和先进的控制系统，是任何半导体制造设施的绝佳选择。