二手 AXCELIS / FUSION 150PC #9061421 待售

AXCELIS/FUSION 150PC Exposure Equipment是一个高度先进的自动化解决方桉,用于处理网纹和其他基板。该系统能够在单个曝光工具中提供光刻胶、层级、金属、蚀刻、检查和其他处理阶段。它提供了无与伦比的吞吐量、可靠性、可重复性和过程控制级别。该单元基于模块化的多区域设计概念。这使得机器可以根据用户的具体需求进行改装。它用途广泛,既可以配置为低成本单点工具,也可以配置为功能齐全的双点资产,每个基板层都有多次曝光。该模型允许在批处理模式和串联模式下进行操作,从而允许用户优化其吞吐量和流程变化。设备配备了包括高强度紫外线源、所有透镜和光学元件以及图像增强器在内的所有必要组件。该系统旨在提供高度的过程控制和可重复性。综合曝光控制单元（Integrated Exposure Control Unit，IECS）在机器软件内创建一个虚拟层，可以为每个配方存储和调整参数。这允许用户精确控制和优化每个层的过程参数。该机还配备了最先进的光刻套件。该软件旨在管理和自动化光刻工艺，从设计的准备和编辑一直到曝光参数的微调。软件还包括一套监控和分析工具，允许用户实时监控流程条件和分析结果。该工具还提供了一组高级显微镜功能。它可以与直播摄像机集成，用于捕捉高分辨率图像或3D模型。它还可以配置一系列放大倍数，以便于检查和分析平版印刷特征。最后,该资产旨在提供卓越的自动化性能。自动化的舞台穿越能力允许同时快速处理多个基板。此外，该模型直观的用户界面和健壮的机器人技术允许易于操作员控制，使设备操作更快、更容易。总体而言,FUSION 150PC Exposure System是一个高度复杂、多方面的解决方桉,可提供最高的准确性和可靠性,用于处理标线和其他基板。该设备旨在提供最大性能、可扩展性、自动化和过程控制。它具有高度适应性和灵活的体系结构，是任何光刻工艺的理想解决方桉。