二手 AXCELIS / FUSION 150PC #9302854 待售

AXCELIS/FUSION 150PC是一种用于半导体器件制造的光刻工艺的曝光设备。它由FUSION Technologies设计,FUSION Technologies是先进工艺技术解决方桉领域的领导者。该系统采用可变光束（VSB）模式发生器，产生聚焦、精确的高能紫外线辐射斑点，将所需的模式暴露在光掩模上。该单元由于具有高分辨率、大视野和多层空中成像能力，具有较高的生产率。FUSION 150PC具有高达150瓦的源功率,并提供用于控制光束大小和形状的优化投影光学器件。它由VSB模式发生器、成像透镜和相关电源组成。成像镜头采用多级远心率设计，可实现最大成像精度。可伸缩、自对准的对焦机使用七元伽利略光学工具和自动对焦控制，实现亚微米级的可重复性。其高精度光束定位资产使VSB图样发生器和成像透镜能够稳定、高速对准，确保无瑕疵。AXCELIS 150 PC具有0.7µm的高分辨率，能够产生动态范围广泛的优越影像。其广阔的视野为各种掩模尺寸和不同的电路模式提供了卓越的成像能力。该模型还支持多层空中成像，实现了复杂3D结构的高通量制造。它的自动模式识别使得模式识别过程具有很高的准确性。该设备采用高精度对准系统设计，能够以5um的精度控制和检测掩模台的位置精度。该机组还具有停电、安全互锁等先进的安全功能。此外,它的光学元件与自动校准集成在一起,从而减少了手动调整的次数。总体而言，FUSION 150 PC是为光刻工艺设计的优越的紫外线曝光机。由于其精密的光束成形工具、宽广的视野和多层空中成像能力，它具有最高的分辨率和高通量。AXCELIS 150PC作为一种先进的光刻机，是半导体器件制造的理想选择。