二手 AXCELIS / FUSION 200 ACU #9083197 待售

AXCELIS/FUSION 200 ACU是为生产光掩模而设计的自动化曝光设备。该系统提供灵活性、成本效益和高性能,以实现可靠的性能和长期使用。该单元采用超高速紧凑型步进电机,可提供精确一致的结果。它的高速有利于更快的干燥时间和提高暴露的准确性。它的高分辨率光学元件和可变缝隙尺寸使它能够处理各种不同的光掩模类型。由于它的闭环机器和可调节的速度，它也能够精确的模式定位和对准。它的多区结构使各种基板尺寸的可靠曝光具有高分辨率甚至每个区的曝光。FUSION 200 ACU先进的快门工具提供精确的曝光时间控制，而其滤波器组件则确保光能的精确调制高达340W/cm ²。它还具有先进的安全和维护功能，包括用于改进散热的低真空资产和用于操作设备时增加安全性的激光联锁安全模型。该系统还具有符合人体工程学的设计,以方便用户,并具有用于设备安全的自锁手柄。其高冲击力外壳可确保设备无振动,并且与洁净室兼容的设计可最大程度地减少颗粒污染。此外，其光学摄像机监视机和AIoT监视工具提供对数据、设置和流程的持续监控，并向用户发出资产中任何异常或故障的警报。总体而言,AXCELIS 200ACU是一种可靠、经济高效且高性能的曝光模型,适合许多光掩模生产需求。其先进的功能和设计提供精确和一致的结果,并确保它能够安全、安全地运行多年的可靠性能。