二手 AXCELIS / FUSION 200 ACU #9191126 待售

AXCELIS/FUSION 200 ACU是一款先进的自动曝光设备，设计用于提供对单基板、多基板和高度复杂基板的精确、可重复的光刻控制。ACU专为要求最苛刻的光刻应用而设计，可以应用、控制和监控各种基板和特性的暴露，包括多种基板，具有高度的可重复性。该系统提供了简化的用户体验和强大的功能,可优化平版印刷过程。ACU优化的光学和机械设计允许使用易于维护且经济实惠的长寿命、减少燃烧的照明。高效的石英卤素灯在高照度和低照度下都能提供可重现的曝光，而可调节的晶片级则可以让设备在曝光时快速更换基板和照明。此外，先进的，可调快门控制允许精确快门操作和定位以及优越的快门校准。ACU由一个主机和控制单元以及一个曝光头组成。大型机由数字显示器和控件组成,包括用于快门控制和光圈设置的拨号设置。控制单元由一个头控制器、晶圆数字读数和电机控制技术组成。大型机运行高级软件和高级硬件改进,并且能够存储多达8个曝光程序。通过直观的用户界面,ACU可以轻松集成到各种各样的环境设计中。一套广泛的镜头、棱镜和镜子可用于定制快门、投影光学器件和曝光头以满足光刻要求。此外,一台自动化的集成实时诊断机器允许进行性能监控和调整,这有助于防止停机,并最大限度地降低与安装、重新校准和重新校准相关的成本。ACU为用户提供清洁、低维护的设计和各种环境控制,如温度-湿度控制、电磁干扰（EMI）屏蔽和通风外壳。该工具还符合FDA批准的半导体和光刻工业安全措施。总之，FUSION 200 ACU是一种先进、功能齐全的资产，旨在为复杂基板提供精确、可重复的光刻控制。它具有清洁、低维护的设计、自动诊断以及广泛的光学和机械功能。ACU具有先进的功能和用户友好的界面,非常适合要求更高精度和可重复性的应用程序。