二手 AXCELIS / FUSION 200 ACU #9225547 待售

AXCELIS/FUSION 200 ACU是一款先进的曝光设备，配有精密光学器件以及实现高分辨率结果的多种选项。它是为商业和工业应用而设计的。FUSION 200 ACU使用自动聚焦系统对晶圆表面进行精确控制和成像。它具有变速、高精度的控制单元，允许对曝光参数进行微调控制。曝光机采用空气轴承结构，在各个方向提供稳定、精确的运动。AXCELIS 200ACU配备了可变孔径膜片和准直器孔径，共同提供晶圆表面上高质量的光束均匀性和曝光均匀性。刀具还具有可调柱定位和角度，以及三个可调轴（X、Y和Z）。资产具有控制曝光和曝光参数的自动化处理器。这样可以方便编程和快速暴露晶圆。自动曝光模型还包括曝光概况记录和曝光数据存储,允许在多次曝光运行中获得高质量的结果和曝光参数的可重复性。200ACU还配备了难以曝光的口罩和其他特殊应用的特殊选项。该设备能够接触、接近和干燥接触，使其适合各种晶圆制造工艺。AXCELIS 200 ACU非常精确，在曝光场的所有区域都具有高度一致的曝光均匀性。它既紧凑又易于设置，其自动化功能使其能够快速有效地为各种应用做好准备。自动化的功能和简单的编程还允许最小化曝光时间和最大化曝光精度。200 ACU是一个先进的曝光系统，提供高分辨率的结果，精确的控制，以及针对不同应用的广泛选项。它的自动化功能和易于编程使其成为各种晶圆制造工艺的理想选择。