二手 AXCELIS / FUSION 200 ACU #9225549 待售

AXCELIS/FUSION 200 ACU设备是一种功能齐全的高级曝光系统,在半导体光刻技术中具有高吞吐量、高性价比和无与伦比的分辨率。该单元结合了经过验证的高级光刻技术和工艺自动化功能,为制造商提供了所需的成本节约,以及实现高级工艺节点的更大实用性。该机提供了先进的覆盖精度和配准均匀性，这要归功于其精确校准的对准阶段和集成的配准标记检测系统。其TwinScan Twinscan 5 x ST微步进晶片级还允许扩展视场和对直径达200 mm的大型晶片进行过度处理。ACU的On-Axis I-line Lighting lighlinator提供增强的过程均匀性和标线均匀性,以优化项目。其固态照明工具增强了产品性能和光刻工艺控制。此外,它的可变预脉冲功能允许更集中地平衡掺杂密度,并更好地控制更高级的流程节点的线宽和空间宽度。该资产还提供了广泛的可选硬件组件，包括电动聚焦单元、距离测量模型、液体光刻胶高度测量设备和直接激光干涉测量系统。这些外围解决方桉的可扩展性为光刻师提供了满足其需求所需的灵活性。为了提高质量和可靠性,FUSION 200 ACU具有所有必要的功能,包括多喷射器功能、现场过程控制、集成过程配方、与工厂自动化系统的集成以及对扩展或多种模式的支持。它还有一个先进的晶圆便利化装置和一个集成真空处理机，允许用户以最短的设置时间快速移动和交换加工过的晶圆。AXCELIS 200ACU工具是一种通用的解决方桉,与市场上的其他解决方桉相比,它具有许多优势。它非常适合在新的和现有的生产线中集成,其体系结构促进了产品的快速转换,并带来了节省成本的好处。该资产也非常可靠,提供出色的结果,以及一致的生产过程控制。