二手 AXCELIS / FUSION 200 ACU #9235767 待售

AXCELIS/FUSION 200 ACU是一种综合性晶圆级曝光设备，旨在为包括半导体、MEMS、光电子和高级封装应用在内的一系列先进设备应用实现可重复、准确的结果。该系统有一个专用的照明器单元，包括一个大功率氙灯，一个先进的像差校正，和一个内部自动场校正机。这项技术提供了高强度和均匀的光照模式,从而缩短了曝光时间并提高了设备产量。此外，最先进的校正工具最大限度地减少了曝光模式的像差和失真，进一步提高了结果的一致性和准确性。通过这种组合,FUSION 200 ACU上的曝光能够在完全集成的过程控制级别下实现1.0 µm或更小的双图样和迭加精度。此曝光资产还具有一系列集成的子组件和流程功能。其中包括一个独立的2级映射模块、一个高精度的亚微米步进器和一个激光直接成像（LDI）模块。利用这些集成组件,AXCELIS 200ACU能够以单一的模块化解决方桉支持各种高级流程,如极紫外线（EUV）、深紫外线（DUV）和高级封装应用程序。此外,FUSION 200ACU通过其可配置的体系结构提供了高度的灵活性。这种模块化设计允许重新配置每个组件以支持各种实验和用户的需求。此外，其集成的网络和控制模式使设备能够远程访问和操作，从而便于与现有的实验室或工厂车间环境相结合。为了保持最佳环境,200 ACU配备了先进的传输系统和气体箱,以确保晶片在整个暴露过程中保持在安全和清洁的环境中。此外，它的自平整动态真空卡盘提供了免维护操作，并能够在较小的基板上更高的分辨率模式。总之，AXCELIS 200 ACU是研发应用的理想曝光解决方桉。其集成的组件单元、灵活的体系结构和强大的自动化功能可确保为一系列高级设备应用程序提供可重复和准确的结果。