二手 AXCELIS / FUSION 200 ACU #9399207 待售
网址复制成功！
单击可缩放
AXCELIS/FUSION 200 ACU是一种自动曝光设备，设计用于将有图样的硅片暴露在紫外线下。该系统利用激光腹泻阵列、模式识别光学器件、位置传感器和计算机控制的运动系统等先进技术，将晶片精确地暴露在多种应用中。FUSION 200 ACU具有高效率的激光二极管阵列，能够以高达1000瓦的功率发射紫外线，从而产生比传统曝光系统更高的吞吐量。激光二极管阵列基于先进的光学技术，是自校准的，允许在单个晶片内具有更高的精度和重复的曝光模式。此单元还可以凹入多边形、圆、椭圆、矩形和六边形,以及周期性和非周期性模式或网格。AXCELIS的自动模式识别和精密光学200ACU允许在晶片上进行曝光区质量（EZQ）分析,能够在单个通道中精确识别和精确曝光图样晶片,该机器还采用内置端点检测方法来精确检测晶片何时完全曝光。此外，200ACU采用先进的运动系统，用于在激光二极管阵列下和曝光运行之间精确移动晶片，通过位置传感器精确验证晶片上图样的位置。这样可以确保阵列被精确暴露,而不管阵列大小、方向或复杂性如何。这种自动化和精确的曝光工具能够容纳各种晶片,包括3英寸、5英寸、8英寸和12英寸晶片,并且用户友好,为用户提供了灵活的方式来微调资产以满足其特定的工艺需求。200 ACU具有坚固可靠的设计,是任何涉及阵列硅片的生产工艺的绝佳选择。
还没有评论