二手 AXCELIS / FUSION 200 MCU #9399673 待售

AXCELIS/FUSION 200 MCU是一款先进的基于微处理器的紫外线曝光设备，用于半导体行业。该系统便于改进过程控制,具有较高的吞吐量和灵活性。曝光单元包括获得专利的液压发射模块（HEM）和提供快速、精确、可重复基板定位的智能座椅基板定位机（SSSPS）。此工具还具有机器人传输模块（RTM）,允许在HEM和SSSPS之间传输多个基板。液压发射模块是一套专门的组件，用于处理基板的对准、光强度控制和资产的剂量控制。它能够发射六个聚焦的紫外线柱，确保基板均匀暴露于光源。智能座椅基板定位模型允许在每个曝光脉冲期间对基板进行重复对准。其先进的算法运行快速准确的反馈循环，以优化基板与掩模之间的接触。它使用视觉传感器、激光探针、精细Z轴调整和基板设置参数的组合。机器人传输模块通过从HEM和SSSPS加载和卸载基板来简化基板处理过程。它可以使基板的输送机设备传输同步，从而减少暴露过程的每个周期之间的时间延迟。FUSION 200 MCU为用户提供了一整套用于数据分析、过程控制和优化的软件工具。它提供了存储和显示配方和工艺参数的功能,还可以使用多次曝光的数据生成报告。AXCELIS 200 MCU也为广泛的基材尺寸、几何形状和材料设计。其先进的光学设计使其能够适应不同厚度的基材和不断变化的工艺条件。此外,它还提高了生命周期效率,从而提高了工作效率。总体而言,200 MCU是一个高级、高吞吐量和灵活的曝光系统,可让用户更好地控制流程并提高效率。它的高级组件和软件工具为用户提供了优化的曝光过程,从而确保了对曝光过程的准确控制和优化。