二手 AXCELIS / FUSION 200 PC #9157616 待售

AXCELIS/FUSION 200 PC是为先进半导体工艺而设计的先进曝光设备。该系统以更大的工作区、更高的分辨率和卓越的曝光控制形式提供卓越的性能。它能够通过先进的快门控制和对准精度来曝光200毫米尺寸的基板。该装置采用高分辨率成像光学器件，在基板上具有优异的图样处理能力。它可以处理各种需要精确曝光的基材，包括高达200毫米的光阻、玻璃或其他高度透明的材料。机器独特的自动对焦算法允许自动、即时调整对焦和分辨率,以确保曝光的晶片具有最佳、可重复的特征。为确保最佳性能和效率而设计的若干先进功能进一步增强了该工具。该资产具有强大的晶片处理模型，该模型具有自动晶片对准和调整功能，可将晶片精确定位在曝光室内。它还有一个集成的闭环快门设备，确保一致的曝光开合以及精确的快门控制。此外,独特的模模阵列放置系统可确保晶片上多个模具阵列之间的精确对齐。该装置还具有8秒的最大紫外线暴露时间。这样可以提高吞吐量和生产率,同时减少与过度曝光相关的缺陷。它还具有用户友好的离子泵，自动优化泵速，优化紫外线分布。曝光机用集成的保护玻璃进一步保护，确保安全和一致的操作。FUSION 200 PC还提供了激光对准功能等高级功能,以便可以即时完成对准任务,如模具对准和曝光前的等离子体清洗。此外，该工具还得到用于过程控制的尖端软件的支持，包括E-beam或Stepper曝光控制软件，以及数字I/O控制软件。最后,为了进一步提高可靠性和安全性,资产包括硬件和软件级别的安全监控以及专用的安全开关和硬件锁。这确保了模型按照国际安全标准运行。因此AXCELIS 200 PC是先进光刻和封装工艺的理想设备。