二手 AXCELIS / FUSION 200 PC #9205015 待售

AXCELIS/FUSION 200 PC Exposure Equipment是一种高精度、先进的光刻系统,旨在生产具有亚微米特性的设备。它具有广泛的可为特定应用量身定制的曝光光学元件。FUSION 200 PC单元采用了先进的成像技术和先进的顺序照明，实现了极其精确的图样化结果。AXCELIS 200 PC机器包括曝光头、步进电机和PECVD工具以及其他组件。曝光头包含高速数码相机，可以快速准确地捕捉图样图像。系统的辐射源可以是氙灯或激光。然后，从照相机获得的数据被转移到PECVD资产中，用于生成所需的制作模式。与200 PC型号关联的SXA 200多边形扫描仪提供高分辨率成像功能。扫描速度和分辨率可以轻松调整,以适应各种设备要求。曝光组件上的VCU和Emitters也减少了与曝光过程相关的噪音。再者，机动化平台使用户在曝光过程中能够精确调整基板的位置。AXCELIS/FUSION 200 PC设备还配备了平板显示屏,可轻松导航系统的菜单和控件。显示屏允许用户监控曝光过程，如曝光时间和曝光能量，并对设备进行调节以符合特定的应用要求。此外,诊断机器从FUSION 200 PC捕获关键数据和参数,这些数据和参数可用于刀具故障排除和优化。AXCELIS 200 PC的电脑介面可以让使用者快速检视及调整曝光及处理参数，也可以方便连接网路或网路。这使得200 PC成为远程管理曝光资产和最大限度提高生产效率的有效工具。