二手 AXCELIS / FUSION 200 PC #9250798 待售

AXCELIS/FUSION 200 PC是一种自动化光刻曝光设备,旨在提供可靠的半导体制造能力和灵活的设置和操作。该系统采用双室设计，在一个单元内有两个独立的过程室，一个用于开发抗蚀剂，一个用于暴露和制作抗蚀剂。这一特性使得光刻胶和基板加工的高通量，而不牺牲过程的均匀性和准确性。双室设计还具有通过防止化学污染物或其他污染物从一个室转移到另一个室来降低交叉污染风险的额外好处。FUSION 200 PC能够执行各种过程步骤,包括spincoat、烘烤、对齐、曝光、曝光后烘烤、显影和冲洗。该装置还采用先进的自动对准技术，利用光学装置在基板上定位和绘制图样。这项技术提高了分辨率和准确性,同时大大缩短了用户输入时间。此外,AXCELIS 200 PC还具有计算机化的晶圆处理功能,允许在机器的基板处理阶段进行精确的基板传输和精确的定位,并减少传输时间。200 PC有一个可重复成像室相机工具，以及一个内置的查看端口，方便基板对齐和关键图样。该资产采用模块化结构和符合人体工程学的设计，以改善用户的访问和移动性，同时提高维护的易用性。AXCELIS/FUSION 200 PC具有用户友好的板载过程控制模型（OPCS）,可实现设备过程控制的无缝集成和完全集成。OPCS旨在监控流程参数,最大限度地减少用户在系统运行过程中的干预。FUSION 200 PC能够运行小型部件,从而提高了整体设备的正常运行时间。该机器还提供了单个晶片的可重复性和高吞吐量。此外,它的自动化基板处理技术减少了手动设置时间,同时优化了刀具产量.该资产非常适合原型和小型生产应用。