二手 AXCELIS / FUSION 200 PCU Polo #9196916 待售

AXCELIS/FUSION 200 PCU Polo是一款先进的曝光设备，旨在为苛刻的光掩模生产提供精确且可重复的曝光。此平台非常适合5 X和6 X曝光应用。Polo是一个自动化的轨道系统，具有高分辨率的计量和基板处理，导致优于产量的性能。该设备采用了获得专利的最先进的质量流量控制（MFC）无水分干燥空气技术,为临界重复暴露应用提供精确和可重复的剂量。MFC技术能够将暴露剂量重现到0.8%以内。机器具有先进的基板处理,包括自动加载、放置和方向控制.该工具还包括自动背面对齐和金属对齐监控。平台可加工尺寸达200毫米的基板，可处理厚度达1.5毫米的基板。先进的光机资产提供卓越的光学性能。光学模型采用高性能衍射校正曝光透镜，结合自动对准设备。先进的曝光系统设计为提供高达4µm的最佳同级曝光均匀性，加上0.1µm/mm的低线性失真。FUSION 200PCU POLO采用用户友好的图形用户界面（GUI）设计,实现了曝光参数的快速设置和精确可重复性。该设备具有操作人员友好的控制功能,具有广泛的过程和基板数据收集功能。此数据用于确保精确和可重复的曝光。AXCELIS 200 PCU/POLO是一款先进的曝光机，为苛刻的光掩模生产提供精确且可重复的曝光。凭借其行之有效的光学性能、MFC控制工具和自动基板处理，该资产可提供优越的产量和精确的可重复剂量。该模型用户友好的GUI确保了易于设置和精确的过程控制。