二手 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9016214 待售

AXCELIS/FUSION 200 PCU设备是一个强大的曝光系统，提供尖端的光刻工艺和功能。它提供了广泛的功能,允许用户以各种不同的格式精确地对各种基板进行阵列。FUSION 200 PCU曝光单元使用深紫外（DUV）曝光源运行，配有先进的Target Renovation Retarder（TRR）和前沿光学器件。坚固的空气承载机有助于确保准确和可重复的运动，从而实现精确的覆盖和图案放置。此外，AXCELIS 200PCU包括一个最先进的低应力晶片改造工具和一个现场光学监测资产，允许近乎实时的数据监测。这样可以缩短曝光时间,提高产量和提高产量。FUSION 200PCU具有执行各种图像统一操作的能力，如蚀刻和可变形状曝光，从而产生出色的产量并提高特征精度。此外,该模型还提供了业界领先的迭加精度,允许在一个任务步骤中对多个曝光网格进行阵列化。随附的自动对齐工具与各种图像格式兼容,使设置和执行比以往任何时候都更容易。在抗蚀剂处理能力方面，AXCELIS/FUSION 200PCU支持中高蚀刻选择性，使用户能够将音高暴露在大约0.6微米。该设备还包括高级抗蚀剂评价功能，可准确表征光敏性能。AXCELIS 200 PCU系统与大多数流行的CAD程序和流程平台兼容,使其易于集成到现有的设置中,并为用户提供更高的生产率和操作灵活性。此外，该装置还可以安装各种配件，如传感器和光学器件，以便根据需要进一步定制。总体而言,200 PCU是一款功能强大且高效的曝光机器,具有多种功能和功能,使用户能够获得卓越的产量和提高的功能准确性。适用于多种基材和层型，使其成为一系列应用的绝佳光刻溶液。