二手 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9038084 待售
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AXCELIS/FUSION 200 PCU（工艺控制单元）是一种高度先进、完全可编程、低能量的曝光设备，专门为制造先进半导体和其他电子元件而设计。它采用了最先进的过程建模、控制、优化和验证技术,可提供最大程度的过程控制和一致、可重复的结果。FUSION 200 PCU采用多级工艺体系结构,包括光刻胶建模、过程控制、机器控制和性能验证。这允许最大限度地控制流程变量和系统性能,从而允许最高级别的流程控制和可重复性。它采用符合人体工程学的工作站设计,可轻松访问所有主要单元组件,包括大型机处理器、大型平板显示器和输入/输出外围设备。显示面板方便用户使用,并提供有关流程参数和数据的实时信息。AXCELIS 200PCU独特的过程控制技术使得广泛的过程参数能够得到精确的控制和优化，如辐射功率、剂量率、光束剖面图和分辨率。这样就产生了清晰的成像、可重复的结果以及定制所需设计输出的能力。性能验证技术通过对机器性能和过程配方进行监控,同时通过实时分析提供即时反馈,提供高级质量保证。这对于细线、亚微米器件制造的验证尤其有益。AXCELIS/FUSION 200PCU还具有一个综合的光掩码库配方库,它简化了曝光的管理和优化,以及一个综合的过程配方库,能够实现多个过程的自动化。200PCU功能全面，是制造先进半导体和其他电子元件的理想解决方桉。
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