二手 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9106832 待售

AXCELIS/FUSION 200 PCU是一种设计用于工业和实验室环境的曝光设备。该系统为各种材料和工艺条件提供高精度、用户友好的曝光控制。该单元由一个光束传递柜和一个工艺室组成，有两个集成的软件程序，以确保高效、准确和可重复的结果。光束传递柜中包含一组透镜和反射镜，这些透镜和反射镜控制电子束向工艺室的传递。梁的路径可以使用机柜前部的控制旋钮进行调节，以精确操纵梁转向。这样可以使光束精确聚焦并定向到目标材料上。该工艺室是一种真空室，用于为电子束暴露创造理想的底物环境。专用特高压法兰附着在腔室的顶部和底部，以确保清洁干燥的环境。它还包含一个用于基板加热和冷却的隔离腔室，允许对腔室内的温度和环境进行精确调整。此外，气体进气孔和排气孔提供清洁的进气孔，并为操作过程中的潜在危险颗粒制造安全的排气机。FUSION 200 PCU软件为用户提供了功能强大、用户友好的工具来控制曝光过程。它使用户能够快速轻松地配置参数,如梁电流、基板温度、压力等。预定义配方库能够快速创建和存储设定点,从而使重复过程变得更加容易。软件还包含自动故障检测和整改模块，在曝光过程中提醒用户任何异常，并引导用户快速整改。这确保了暴露过程的更高准确性和可重复性。总体而言,AXCELIS 200PCU是一种强大、可靠的工具,可实现各种材料的精确、高精度曝光。光束输送箱、工艺室和用户友好软件的结合，使其成为工业和实验室设置的理想选择。