二手 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9182824 待售

AXCELIS/FUSION 200 PCU是一种先进的曝光设备,用于在半导体行业的广泛应用中加快设备的开发和生产。该系统包括一台X射线发生器、一台成像相机、一套探测器和数据采集电子设备，以及许多其他子组件。X射线发生器产生高能电子束，该电子束指向要暴露的材料。然后通过一系列的光刻面罩，每个面罩都包含一个要印在基材上的特征图样。成像相机捕获所产生的曝光图样,并将其存储为数字图像。探测器测量照明材料的暴露水平，而数据采集电子记录并将这些水平存储在内存中。然后,设备将使用此数据生成可用于优化曝光设置或控制流程参数的曝光配置文件。FUSION 200 PCU能够支持一系列工艺参数,使其能够产生高度详细的图像,并具有良好的曝光控制水平。该机可用于对不同基板和材料进行多次曝光，使设计者能够产生一系列特征尺寸的图桉。这可以促进在基板上产生微小而细腻的特征，如接触窗。该工具还具有一系列安全功能，如自动接触极限监测，可以为工人和环境提供保护。此外,该资产还具有启用以太网的数字通信功能,允许远程访问和与其他系统集成。AXCELIS 200PCU是一种可靠、高效的曝光模型,适用于广泛的工业和学术环境中的高精度光刻应用。该设备具有强大的成像摄像头和各种参数，为研究、开发和生产各种设备提供了一个很好的工具。