二手 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9194479 待售

AXCELIS/FUSION 200 PCU （Personal Computer Unit）是为几种不同的光刻作业而设计的曝光设备。它用于曝光控制、蚀刻/显影控制和掩模对齐器。PCU是一个独立的系统，连接到许多光刻设备和组件。该单元由几个组件组成,包括工作站、控制器、电源、大型机和软件包。工作站用作用户界面,控制器负责过程控制。电源为机器提供电源,大型机容纳了刀具的所有电路。软件包为用户提供了一个输入参数、执行命令和接收报告的平台。FUSION 200 PCU具有彩色触摸屏显示屏、5英寸高分辨率显示屏和多键盘,可轻松输入数据。它还有一个大型数据库,用于存储多达10,000个掩码和对齐数据。资产还支持用户可以自定义的多个通信协议。该模型能够提供曝光时间、照明图样、聚焦、暗曝光、偏振和曝光校正等曝光参数。它具有超快的响应时间，能够同时控制多个晶圆曝光。该设备还提供高级掩码数据库搜索功能，可用于检索满足特定要求的掩码集。它还能够监测内部流程参数，并且可以扩展到管理外部系统。该系统具有多种诊断工具,可帮助管理设备的性能和对齐方式。它可以存储多达10,000个要监控的参数，包括焦点误差、曝光时间、极化、校准和温度。它还具有自动对焦校准功能,可确保机器始终保持最佳性能。AXCELIS 200PCU是一种功能强大的曝光工具,旨在帮助用户执行多个光刻操作。它具有多种功能,从触摸屏显示到全面的数据库,使其成为满足高级曝光要求的理想解决方桉。