二手 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9229801 待售
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已售出
ID: 9229801
晶圆大小: 8"
Photo stabilizer, 8"
Configured for 6"
UV Bake process
Irradiator contains Hg high intensity lamp
2.45 GHz Magnetrons for UV radiation generation
Cassette to cassette operation
Microprocessor controlled
Pneumatic controlled uplift for irradiator
UV Port housing
Operations manual and documentation.
AXCELIS/FUSION 200 PCU是用于制造集成电路等电子元件等半导体器件的曝光设备。它是一个高度自动化和高效的设备,由一个由计算机控制的组件组成的综合系统组成,能够为光刻的目的精确控制各种参数。FUSION 200 PCU包括电源和控制器。电源提供驱动照明单元所需的电压和电流,而控制器则提供调节曝光机各种参数所需的逻辑和控制。电源和控制器的设计都非常高效,减少了消耗的能量,最大限度地发挥了工具的潜力。AXCELIS 200PCU还包括一些光学元件,使图像能够精确聚焦到晶圆或基板的表面上。这些元素包括快门、激光、透镜和将光引导到晶圆或基板表面的两个分束器的组合。所有这些元件的组合效果使得图像对比度非常高,这对于高清集成电路的制造至关重要。FUSION 200PCU的其他组件包括提供控制器视觉反馈的高分辨率显示器,以及各种自动化功能,包括校准和图像捕获功能。FUSION 200还提供了广泛的选项,用于定制曝光资产以满足每个制造商的确切需求。总之,200 PCU是一个极具效率和精确的曝光模型,非常适合制造现代半导体器件,以及光刻应用。它提供了许多使其成为理想解决方桉的功能,包括电源效率、高度精确的光学元件和通用的控制选项。AXCELIS 200 PCU是许多厂商极具成本效益和可靠的选择。
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