二手 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9231978 待售

AXCELIS/FUSION 200 PCU是设计用于半导体加工的曝光设备。它是一种高性能系统，可用于多种制造工艺，包括高分辨率光刻、光刻带、活化蚀刻、扩散、化学机械平面化和计量。该单元提供了多用途的曝光参数的可编程性以及高精度和重复性的曝光结果。该机还提供了极好的模式放置精度和高通量性能，最小的残留强度变化。该工具包括先进的光学资产，包括非球面光学透镜、掩模对准模型和双源照明设备。这提供了高分辨率的成像精度,减少了像差,并且在晶片表面上有均匀的照明。该系统采用双点均匀照明的分割场成像技术,以高通量提供高分辨率成像。此外,该单元还包括三个可编程曝光参数,使用户能够根据目标应用程序和流程定制计算机。该工具由一个高级控制器提供动力，该控制器能够对资产进行精确的控制和监控。控制器提供自动温度/湿度补偿,使操作员能够保持模型的稳定环境。此外,控制器还结合了用户可编程的参数,以实现曝光特征边缘放置精度、过度曝光kp因子和剂量均匀性。该设备能够使用多种介质和技术,并根据介质和应用程序的要求优化性能。该系统具有先进的设计，以提高设备可靠性，包括在线诊断和低级维护。该计算机还具有多种配置,允许用户根据特定的应用程序要求自定义工具。为确保最佳性能,建议进行专业安装和定期维护。资产还必须按照制造商的指示操作，以确保最佳性能和可靠性。此外,在温度和湿度控制环境中存储模型也是必不可少的.如果使用得当,FUSION 200 PCU将提供可靠和准确的结果。