二手 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9235768 待售

AXCELIS/FUSION 200 PCU是FUSION Technologies设计的最先进的曝光设备，用于制造半导体工业中使用的光掩模。该系统配备了功能强大的源模块，以高精度、重复性和吞吐量提供多种曝光。源模块具有四个具有可变功率级别的UV灯,使用户能够为各种光掩模选择适当的曝光。四盏灯由PEU（电源延伸单元）支撑，为机组运行提供必要的电力。该机设计有一个大型面罩台，可在任何给定时间容纳多达12个面罩。这些模块具有内置晶片处理工具，有助于在窗口和支撑板之间方便地传输晶片和掩模。资产还配备了数码相机，使用户能够准确记录和显示镜头和光圈的图像。该型号还有一个外部空气冷却设备，在系统运行时有助于保持恒定温度。FUSION 200 PCU有一个完全自动化的设置和控制软件。此软件使用户能够有效地运行和控制整个设备。该软件具有强大的配方,用户可以使用这些配方来满足客户所需的光掩码要求。这有助于减少运行机器所需的时间,并确保光掩码准确一致。AXCELIS 200PCU配备高精度XY轴级，X行程1350mm，Y行程1800mm。这允许蒙版在蒙版表上有效移动。该工具还配备了多点聚焦功能,可在最多6个不同点进行聚焦,从而提高掩模细节的精确度。AXCELIS/FUSION 200PCU也提供高度安全,因为它符合国家电气法规和CE标志要求。此外，资产还符合严格的环境规定，确保光掩模能够安全用于工业应用。FUSION 200PCU是一个功能强大、可靠的曝光模型，非常适合半导体行业。其全面的特点，加上其高精度、精确度和可靠性，使其成为任何光掩模制造商的绝佳选择。