二手 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9235769 待售

AXCELIS/FUSION 200 PCU是为半导体晶片生产而设计的高功率曝光设备。它具有紧凑和通用的设计,能够快速处理许多独特的需求。该系统包括一个用于提供均匀照明场的曝光头、一个用于控制温度的引擎盖通风机、一个用于支撑和传输晶圆/图像板的输送机驱动载波以及用于监测和捕获数据的多个摄像机。曝光头由铝和锌铝合金构成，具有高效的照明单元（HIS），提供均匀的照明领域，同时在整个领域提供卓越的照明。引擎盖增压器的设计允许用户根据自己的需要调整温度。输送机驱动的载波提供了一个光滑、可靠的晶圆和图像板输送到曝光头。它配备了两个微型相机-一个朝下看，另一个朝上看-为用户提供曝光时间和焦点读数。最后,自动快门可确保曝光时不会浪费光线。FUSION 200 PCU具有用户友好的界面,使用户能够准确、快速、高效地对曝光设置进行编程。它还有一个短配方模式，允许用户快速编程针对个别晶片量身定制的曝光设置。该机配备了交互式触摸屏显示屏，允许用户及时访问曝光设置和数据。它还具有高精度的视觉对准功能,允许用户对其图像板进行精确调整,从而确保出色的对准和结果。AXCELIS 200PCU提供了许多安全功能,专门用于保护人员和设备。它具有防止意外暴露于光线的安全灯幕。它还有一个自我诊断装置，可以自动监测引擎盖气室内的温度和气体水平，以便检测潜在的安全问题。此外,该工具还包含一个紧急停止按钮,在发生紧急情况时可以轻松访问该按钮。200PCU是一种可靠、可靠且用途广泛的曝光资产,可为用户提供精确的控制和高质量的结果。其设计使其非常适合快速一致地生产多种类型的半导体芯片。用户友好的界面和增强的安全功能确保用户能够快速、安全地编程曝光设置并生成高质量的图像。