二手 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9235770 待售

AXCELIS/FUSION 200 PCU是专门为半导体器件制造和微电子设计的曝光设备。它为中高通量生产提供精确的控制,并且需要最少的维护。该系统适用于制造和测试各种设备，包括光电子、MEMS、光子学和LED。FUSION 200 PCU装有一个200瓦、超高功率的激光源、一个13位晶圆级和三个独立聚焦光学元件（CO2、NIR和UV）。它提供了两个加载选项（活动机器人和手动装载）,并具有一个现代化的热力装置,旨在抵消温度波动以保持最佳工艺条件。AXCELIS 200PCU配备了超精确的电动Z轴，实现了最高精度的对准和定制的可重复性。闭环运动控制功能和集成仪器有助于对激光暴露剂量进行可靠和准确的控制。该机允许用户轻松定制曝光过程参数，包括激光束形状和快门、扫描速度、XY运动等等。它还具有内置的安全功能,可防止潜在的错误。200PCU用途广泛，可提供均匀、快速的光刻胶、其他材料和各种尺寸的基材。它与第三方和FUSION自己的软件解决方桉兼容,并且可以设计为适合各种类型的自动化设置。AXCELIS 200 PCU是一种先进、高效的工业应用曝光工具。其尖端技术和高度可定制的选项确保了卓越的性能和快速的生产时间。它是高容量和复杂的光刻和成像应用的理想选择。