二手 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9235771 待售

AXCELIS/FUSION 200 PCU是一种先进的曝光设备,设计用于处理各种行业的各种材料。该系统具有一个大腔室，旨在改善传热，提供均匀的晶圆覆盖，并允许长时间运行，维护最少。该单元与多种底物兼容，包括硅、氮化的、金刚石、石英等等。该机器包括一个EasyLoadTM晶圆处理程序、一个紧凑的Load Locker和一个200瓦X射线源。超高精度扫描仪可确保设备的精确成像和整个过程控制,分辨率可降至5 nm。一种独特而革命性的冷目标X射线源利用先进的能量色散阵列，将可调谐光谱精确投射到晶圆表面。该工具还包括一个微波源，为包括CVD和扩散在内的许多工艺在整个晶片上提供快速和均匀的烘烤。集成液压快门机器人资产将晶圆处理时间缩短到不到一分钟。机器人还从室内采取空气清洗步骤，并将它们送到单独的清洁室，从而减少颗粒和水分污染。该模型为各种工艺提供了全方位的工艺参数，包括光刻、高温退火、湿蚀和金属沉积。Process Control Software监视、协调和引导设备中的所有组件,确保结果一致。该软件还为自定义流程和软件工具提供了极好的灵活性,以方便定制设计的配方。该系统还配备了多种安全装置，包括气压监测器、真空监测器、气体探测器、粒子传感器、ESD探测器和电弧检测装置。该单元旨在最大限度地减少对有害物质的暴露，最大限度地降低辐射暴露的风险，最大限度地降低电击的风险。它还旨在为810-2007年提供辐射防护。该机器用途广泛，可用于广泛的行业，包括微电子、光电子、医疗、自动化和航空航天。它的质量和安全设计确保您从流程中获得一致、可靠的结果。FUSION 200 PCU具有广泛的功能和应用,是满足最先进的曝光需求的绝佳选择。