二手 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9238497 待售

AXCELIS/FUSION 200 PCU是为半导体工业设计的先进曝光设备。该系统为高质量的生产成果提供了对关键暴露参数的精确控制。它专为晶片、层和样品的快速处理而设计,能够精确控制关键参数,如放大倍率、焦点、剂量和能量。该装置设有一个集成的电动控制机和一个电动样品保存工具，可精确控制样品的对准和处理，从而能够快速周转，同时最大限度地减少与过程有关的问题。通过其高吞吐量、精确的样品定位以及准确的剂量测量和控制，资产有助于确保一个可靠、可重复的过程。FUSION 200 PCU具有许多自动化功能,例如自动晶圆和样本加载和对齐例程、剂量控制例程以及自动数据采集和分析例程。这些功能使用户能够更好地控制关键流程变量,并为其应用程序自定义模型。设备可以处理范围广泛的晶圆和样品大小，从4英寸到1微米。它还能够处理顶部和底部曲面上的样本。该系统提供强大的性能,提供快速的处理时间和准确的结果。此外,它的软件还可以方便地集成用于自动晶圆或样品处理和对齐的系统。AXCELIS 200PCU设计用于电子、X射线、可见光和离子束等多种曝光源。该单元可以处理同步曝光，允许用户一次处理多层。该机器包括一个多轴样品定位工具，它提供了准确性和可重复性，允许用户在曝光过程中精确定位样品。该资产还具有保护用户的安全功能。它有一个低功耗的安全开关,当检测到电涌时将关闭该型号,以及一个紧急停止开关,可在需要时快速关闭设备。总体而言,AXCELIS/FUSION 200PCU是一个高级曝光系统,可精确控制关键参数,同时帮助最大限度地减少与流程相关的问题。其高吞吐量和准确的数据采集和分析程序使其成为半导体行业的一个很好的工具。