二手 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9258172 待售

AXCELIS/FUSION 200 PCU是半导体工业中为晶圆制造而设计的先进曝光设备。它将最先进的光学元件与最新的微控制器和自动化技术结合在一起,以更高的效率提供最高质量的结果。FUSION 200 PCU系统具有先进、高精度的光学单元,具有可变形状的狭缝照明,可实现均匀、精确的曝光。它还具有双狭缝投影柱和多个狭缝选项,可精确控制整个晶圆的曝光角度和焦点深度。全天候自动环境隔离机器可保护光学器件免受环境光线和灰尘的伤害。为了保证精度,AXCELIS 200PCU采用了先进的晶圆配准工具,具有自动光束和边缘对准功能.它还具有高度精确的聚焦和图像运动控制系统，以提高曝光时的准确性和可重复性。此外,FUSION 200PCU还具有一系列自动化功能,包括全自动曝光对准、曝光漂移校正和模模基板对准。这样可以确保图像和晶片得到快速、准确的处理,从而以最小的变化和最小的浪费实现更大的吞吐量。AXCELIS/FUSION 200PCU还具有可编程掩码库和集成的AI分析资产,以最大限度地提高效率和准确性。它还利用各种成像工具和程序来确保图像和晶片接触到适当的工艺参数。最重要的是，200PCU配备了最先进的用户界面。这包括易于导航的颜色编码图形用户界面、用于数据传输和诊断的USB连接,以及便于操作的10键膜键盘。总体而言,200 PCU为半导体行业的晶圆制造提供了先进而高效的解决方桉。高级光学、自动化和用户界面的结合使结果更加准确、可重复和无错误,并提高了效率和吞吐量。