二手 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9258173 待售

AXCELIS/FUSION 200 PCU（Photomask Creation Unit）是为半导体工业设计的先进高精度光刻设备。它用于将半导体晶片以极高的精度和重复性暴露在紫外线（UV）光下，从而满足了对高质量、高产量、大容量器件制造的要求。FUSION 200 PCU配备了具有亚微米精度（DDSSA）的高精度直驱步进器，能够对暴露的半导体晶片进行极其精确的处理。步进器包括一个高精度、高分辨率的光学对准子系统，以确保在晶片上准确放置曝光掩模。该系统还包括一个衰减光路长度（AOPL）函数，允许独立暴露晶圆的不同区域。AXCELIS 200PCU还包括一个高级注册单元,该单元可确保每个暴露的芯片相对于其他芯片处于正确的位置,以及一个可进一步提高曝光精度的双边曝光穿孔和挂接机。这样可以确保整个图像的曝光强度均匀,这是高精度光刻所必需的。为确保与各种类型的曝光罩兼容，该工具配备了一系列滤光片，以支持各种感光和掺杂的半导体晶片层的曝光度。对于非常小特征的光刻，资产还包括另一种曝光技术，即扫描隧道光刻（STL）模型，在该模型中，曝光是使用带有一系列发射器的局部扫描探针进行的。200 PCU采用了多种安全功能,以最大程度地减少意外暴露于辐射中。其中包括光学安全帘、严密监控的互锁设备以及自动设置的模拟曝光计时器。该系统还包括一个自动反射补偿单元，相应调整曝光强度。最后，为了满足大容量设备制造的挑战性要求，AXCELIS 200 PCU包括一个高速数据接口，允许对机器进行远程编程。这允许以完全自动化的方式执行复杂的成像序列。综上所述，AXCELIS/FUSION 200PCU是一种先进的光刻工具，旨在满足高精度和高容量半导体器件制造的苛刻要求。该资产配备了高精度DDSSA和密切监控模型，以及用于远程编程系统的滤波器阵列、STL设备和高速数据接口。各种特性确保了暴露的准确性和统一性以及高水平的操作安全性。