二手 AXCELIS / FUSION 200 #293639952 待售

AXCELIS/FUSION 200是一款先进的曝光设备，旨在优化下一代半导体器件的制造。该系统采用了最新技术,可提供卓越的吞吐量、准确性和可重复性。FUSION 200是一个交互式、用户友好的单元,具有广泛的功能,是高容量、高精度生产环境的绝佳选择。AXCELIS 200具有高分辨率晶片级、超高精度扫描仪和大功率脉冲电子束工具。晶片级是专门为基板快速准确对准而设计的先进设计，能够移动直径高达380mm （15英寸）的基板。其主要部件为真空卡盘、两个架空载波臂和两个电动X-Y-Z压电级。扫描仪是一种多轴清洁和计量工具，使底物与电子束精确对准。它具有高速矢量驱动机和独特的扫描尺寸优化算法。电子束工具能够对高达150 keV和低kmV能量的电子束进行脉冲，并配备了热管理工具以优化其寿命。200还提供了广泛的过程控制、监控和优化功能。SCORPION软件能够控制整个制造过程,从初始晶片加载到光刻成像和过程集成。分析数据的采集和分析是通过一套板载过程传感器实现的。可自定义的图形用户界面和彩色液晶触摸屏使操作员能够轻松地监视和控制资产。这些工具有助于确保尽可能高的经济和收益。AXCELIS/FUSION 200设计为提供最大正常运行时间,其基础密封平台旨在减少因颗粒污染造成的停机影响。此外,它还具有先进的可编程清洁循环、寒板平台、装卸端口和现代双梁安全覆盖模型。设备还配备了开放式系统架构，能够与其他系统无缝集成。总体而言,FUSION 200是一个高效、可靠且用户友好的单元,可帮助最大限度地提高吞吐量,同时确保准确性和可重复性。机器的创新设计与最新技术相结合，为制造商提供了满足其先进光刻需求的终极工具。