二手 AXCELIS / FUSION 200 #9190886 待售

AXCELIS/FUSION 200是用于集成电路制造的先进半导体曝光设备。该系统具有类似扫描仪的子系统,能够实现超过1 µm的精度和可重复性,并为从快速原型设计到大批量生产的所有产品提供了集成解决方桉。该单元基于双列环境，覆盖面积大，工艺参数范围广。它是高端光刻的强大工具,与其他解决方桉相比,可提高可扩展性和吞吐量。FUSION 200具有直观、用户友好的界面以及一整套先进的光学和计算技术。这台机器使用最先进的光学和机械元件在整个芯片上提供快速、精确和一致的曝光。有几种照明模式可用,例如标准模式和接近模式。此外,AXCELIS 200还将与紫外线和深紫外线光源一起使用,以有效地处理各种材料。该工具能够处理所有类型的基板，包括200毫米以下的晶片和12英寸以下的平板。此外,它还具有各种性能选项,如曝光时间、能量水平和其他设置,这些选项可根据应用程序进行调整。此外,200还配备了集成的模拟资产,使其能够快速复制所需的曝光参数。这有助于改善光刻工艺，确保高水平的均匀性和可重复性。该模型旨在最大限度地降低维护和操作成本。AXCELIS/FUSION 200需要最少的维护,并且灯寿命显着延长,从而降低了总体运营成本。此外，该设备与各种基材兼容，并具有卓越的对准和分辨率。这使得它成为大批量生产的绝佳选择。FUSION 200是一种可靠、高性能的曝光系统，适用于所有类型的半导体应用。其优越的光学性能和精确的对齐方式允许对一系列材料进行高度精确的处理。此外,它易于使用,维护需求低,并且提供了节省时间和成本的选项。