二手 AXCELIS / FUSION DRS-10 / 12QN #293645766 待售

AXCELIS/FUSION DRS-10/ 12QN是为实现广泛的光刻应用而开发的最先进的曝光设备。该系统建立在光刻和光学元件的独特集成平台之上，具有广泛的工艺支持技术。FUSION DRS-10/ 12QN结合了光学和运动控制的最新进展,为独特的双面晶片曝光提供了卓越的性能和灵活性。该单元包括一个安装在龙门架上的扫描机，以容纳各种晶圆尺寸和基板。可操作的石英斗篷组件提供统一的扫描过程性能,以及改进的生命周期性能。高度可重复、低噪声的扫描工具，加上石英保护的照片调节阶段，以及自对准的曝光后阶段，实现了精确的定位和定位。采用10nm工艺的激光干涉仪通过监测扫描链条在曝光前和曝光期间的定位，确保了这种配准的准确性。高精度激光扫描仪和图样发生器系统可实现图样保真度，并具有精确的温度控制和整个晶片的出色均匀性。资产的高吞吐量通过快速伺服响应、精确控制和精密软件算法的组合来实现。该模型采用自动光学对准设备，利用两台自动干涉仪进行精确对准，可跨晶圆尺寸高度重复。AXCELIS DRS-10/ 12QN采用卓越的快门隔热系统,可确保精确的温度控制和参数的可重复性。该单元还具有一系列可选组件,从远程卡盘监控到高级软监视器/配方开发系统。功能强大的软件使用户能够设计各种复杂的光学配置。综上所述，DRS-10/ 12QN提供了最先进的双面晶片曝光性能。它的一系列高级功能和组件提供了无与伦比的操作灵活性和高吞吐量。它集成的软件包和支持过程的工具使其成为任何光刻应用程序的绝佳选择。