二手 AXCELIS / FUSION F 300 Series #132416 待售

AXCELIS/FUSION F 300系列是为光刻、沉积和蚀刻应用而设计的先进prober station。此设备采用模块化设计,可提供最大的灵活性和高效的过程吞吐量,同时保持高精度。它的多功能性使得它非常适合各种应用，从研发到生产。FUSION F 300系列基于软件控制平台和直观的工具构建,提供专家级的流程控制和精确度,以简化流程集成、开发和部署。AXCELIS F 300系列采用6轴级蔓藤花纹,包括线性驱动器、清音执行器和静电夹紧,可精确移动基板。它还提供了高级迭加监视和标记功能,允许快速、轻松地校正离轴对齐错误。该系统包括一个高度灵敏的双视图检测器和直列式滤波器轮，能够进行精确、自适应的感应，以应对振动、温度和气压等环境变化。F 300系列旨在利用现有硬件和软件资源无缝集成到现有流程中。AXCELIS/FUSION F 300系列具有直观的用户界面,可轻松进行导航和流程设置,从而实现更智能的流程优化。它还具有最终用户可调参数,包括对齐偏移、滤波器极性、校正模式和缺陷阈值。通过自动检测计算机和子系统的稳定性,并在发生断电和其他环境问题时恢复到默认设置,可以进一步保护此设备免受数据丢失和损坏。FUSION F 300系列是一种坚固、高性能的工具,旨在满足光刻、蚀刻和沉积工艺要求苛刻的光电需求。其坚固的结构和集成的组件设计能够实现精确和可重复的结果。AXCELIS F 300系列具有广泛的特点和功能,是高精度、高通量光刻和沉积工艺的理想解决方桉。