二手 AXCELIS / FUSION F 300S #9309256 待售

AXCELIS/FUSION F 300S曝光设备是用于制造半导体器件的先进工具。它是一个先进的系统，采用先进的光学元件，允许用户以亚微米分辨率实现材料的高度精确曝光。该单元由几个关键组件组成，包括投影仪、扫描单元和多个光源，使用户可以创建广泛的曝光模式。该机与多种半导体器件类型兼容，使其成为制造商高度通用的工具。投影仪位于工具的中心,提供高达5kHz的曝光光。投影仪包含一个自动化的可变孔径资产,允许用户精确调整曝光光的大小,从而实现小尺寸的曝光。投影仪还利用先进的脉冲宽度调制（PWM）技术来精确控制斑点对目标的暴露-使用户能够获得低至0.25微米的特征大小分辨率。模型的扫描单元允许在目标内的复杂形状上进行极其精确的曝光移动。它负责控制外露照明在视场内的运动，允许非常精确地放置外露光。扫描单元还包含一个Pico Speed Controller,允许快速、高精度的曝光移动,从而能够在各种芯片设计中曝光小特性。此外，FUSION F 300S能够溷合来自多个曝光源的光。此功能允许用户精确调整曝光深度和曝光率等曝光参数，以及即时交换和调整曝光灯的能力。总之，AXCELIS F 300S曝光设备是制造半导体器件时非常先进的工具。其先进的光学器件和先进的组件使用户能够实现亚微米分辨率，曝光率高达5kHz。此外，它能够溷合来自多个光源的光，使用户能够快速和精确地调整曝光参数，以创建复杂的曝光模式。