二手 AXCELIS / FUSION Gemini 200PCU/P #9103139 待售

FUSION Gemini 200PCU/P设备是一种超高精度曝光系统，提供卓越的成像能力和极其精确的迭加性能。该单元经过优化,可以处理最复杂的小间距设备,其最显着的特点是能够精确地成像和对齐小至0.02微米的迭加对齐标记。该机配备了具有双价补偿的自动调平台，可以使高度的微小变化更加一致。这项先进的技术确保了有效的成像,以实现尽可能高的覆盖精度。纵向和水平扫描级都是为最佳精度和快速处理速度而设计的。垂直级的分辨率为50 nm，最大加速度为1G，最大速度为400mm/s。水平级的分辨率为0.003微米，最大加速度为5Gs，最高速度为250毫米/秒。两级均具有数字扭矩电机，设计用于在整个曝光过程中保持高度精确的对准。对于成像,工具使用尖端可见对准器和500W绿色激光器。这可确保清洁成像,并为精细间距的设备提供更广泛的曝光设置。处理器配有增强的成像控制和自动曝光资产,可精确控制曝光参数。该模型还具有集成的热管理功能,可减少可能影响设备性能的热应力。通过保持一个稳定的热环境，系统有助于减少热相关误差的发生。双子座200PCU/P装置的设计以环保意识的方式运作。它具有低噪声设计，并设有碳滤波器，以减少其排放对环境的影响。总体而言，AXCELIS的Gemini 200PCU/P工具是在精细螺距装置上实现极精确的对齐标记重迭的绝佳工具。凭借其先进的成像功能、卓越的热管理资产和令人难以置信的精确度,该模型一定会成为任何定制芯片生产设施的宝贵资产。